硅微机械传感器

硅微机械传感器4 U  M2 n8 P) S7 h2 d
【书　　名】 硅微机械传感器  \+ z6 r# M  B- w7 f6 X4 q  ^4 |, s& K2 W
【作　　者】 陶家渠译本4 Y6 L' J/ V; Q+ D& z, Z$ P: S5 |& d; n
【出 版 社】 国防工业出版社0 i; x( y. _. \5 V$ W9 G1 ~/ Z
【出版日期】 2005年
7 c$ d# z! [& u; X% z【格　　式】 PDF 8 O% c7 G! }+ m- S6 H
【大　　小】 8MB，共3个压缩包，共316页
* \% p  }! b7 a9 p6 M9 A& u5 F【价 格】 32元
! c1 W1 b4 n( H( H2 Y' Q【内容介绍】 本书详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理。因为设计和制造传感器需要多学科的知识，只有经过电学、机械工程、物理和化学培训的工程师才能够进入这个领域并胜任此项工作。为了满足这个需求，本书从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜变形的力学、传感原理、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，并用压力传感器、力学传感器、加速度计、陀螺和流体传感器的众多例子说明了设计、制造和性能方面的有关问题。
  d* k6 A, u# g  n8 J【目 录】
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